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Products● φ19 ?m焊盘的高精度探针测试
● 微细焊盘上的4端子低电阻测量
● 提升更换探针时的作业时效
| 手臂数 | 4(上面2,下面2) |
|---|---|
可安装探针 | 1172系列,CP1072系列,CP1073系列 |
| 测试步数 | 最大999,999步 |
| 测试项目?测试范围内埋元件基板测试 | 直流定电流导通测试:400.0 mΩ?1.000 kΩ 直流定电流电阻测试:40.00 μΩ?400.0 kΩ 直流定电压电阻测试:4.000 Ω?40.00 MΩ 绝缘电阻测试:1.000 kΩ?100.0 GΩ 低电压绝缘电阻测试:1.000 MΩ?100.0 GΩ 交流定电压电容测试:100.0 fF?10.00 μF 漏电流测试:1.000 μA?10.00 mA 高压电阻测试:1.000 kΩ?100.0 GΩ 电容器绝缘测试:1.000 kΩ?10.00 MΩ 开路测试:4.000 Ω?4.000 MΩ 短路测试:400.0 mΩ?40.00 kΩ LSI连接测试:0.000 V?12.00 V 交流定电压电阻测试:10.00 Ω?100.0 kΩ 交流定电压电容测试:10.00 pF?100.0 μF 交流定电压电感测试:1.000 μH?1.000 mH |
| 判定范围 | -99.9%?+999.9%,或绝对值 |
移动最小分辨率 | XYZ:0.1 μm |
| 最小焊盘间距 | 24 μm(使用CP1073-01时,上下面同时) |
| 最小焊盘尺寸 | 1 μm(使用CP1075-09时,上下面同时) |
| 测试速度 | Max. 76 points/s(0.15 mm移动,4手臂同时探测,电容法测试时) |
| 可测试基板尺寸 | 板厚:0.5?7.0 mm 尺寸:50W × 50D?280W × 260D mm |
| 最大可测区域 | 280W × 260D mm |
| 基板固定 | 基板两边夹板固定方式 |
| 使用空气 | 一次侧压力0.5MPa?0.99MPa(干燥空气) 最大耗气量10L/min.(ANR) |
| 使用电源 | AC200 V,220 V,230 V,240 V单相(订货时指定) 50/60 Hz,5 kVA |
| 体积?重量 | 1355W × 1200H × 1265D mm(凸起部除外),1600 kg |
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